The Japan Society of Applied Physics

[D-7-1] Extremely Thin SOI (ETSOI) - a Planar CMOS Technology for System-on-chip Applications

K. Cheng1、A. Khakifirooz1、P. Kulkarni1、S. Ponoth1、B. Haran1、A. Kumar1、T. Adam1、A. Reznicek1、N. Loubet2、H. He1、J. Kuss1、M. Wang1、T. M. Levin1、F. Monsieur2、Q. Liu2、R. Sreenivasan1、J. Cai1、A. Kimball1、S. Mehta1、S. Luning3、Y. Zhu1、Z. Zhu1、T. Yamamoto4、A. Bryant1、C. H. Lin1、S. Naczas1、H. Jagannathan1、L. F. Edge1、S. Allegret-Maret2、A. Dube1、S. Kanakasabapathy1、S. Schmitz1、A. Inada4、S. Seo1、M. Raymond3、Z. Zhang1、A. Yagishita5、J. Demarest1、J. Li1、M. Hopstaken1、N. Berliner1、A. Upham1、R. Johnson1、S. Holmes1、T. Standaert1、M. Smalley1、N. Zamdmer1、Z. Ren1、T. Nagumo4、 T. Wu, H. Bu, V. Paruchuri, D. Sadana, V. Narayanan, W. Haensch, J. O'Neill, T. Hook, M. Khare, G. Shahidi, B. Doris1 (1.IBM、2.STMicroelectronics、3.GLOBALFOUNDRIES、4.Renesas、5.Toshiba , USA)

2011 International Conference on Solid State Devices and Materials |PDF ダウンロード