2017 International Conference on Solid State Devices and Materials

2017年9月19日〜 2017年9月22日
Sendai International Center

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[PS-1-02] Characterization of Deep Trapping States in Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride by Deep Level Transient Spectroscopy

^○N. Shinoda¹, T. Kikuchi¹ (1.Toshiba Corp. (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:37 〜 11:39 |PDF ダウンロード

[PS-1-03] First Study of High-Ge-Content Si_0.16Ge_0.84 Gate Stack by Low Pressure Oxidation

^○J. -L. Zhang¹, W. -L. Lee¹, M. -L. Tsai¹, G. -L. Luo², C. -H. Chien¹ (1.National Chiao Tung Univ. (Taiwan), 2.National Nano Device Labs. (Taiwan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:39 〜 11:41 |PDF ダウンロード

[PS-1-04] Oxidation Enhancement Characteristics of SrTi_xMg_1-xO_3-δ Catalyst for Low Temperature Gate Oxide Formation

^○H. F. Sun¹, A. Ikeda¹, T. Asano¹ (1.Kyushu Univ. (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:41 〜 11:43 |PDF ダウンロード

[PS-1-05] Effect of High Pressure Annealing on the Reliability of FDSOI Tunneling FET

^○S. C. Kang¹, D. Lim², S. K. Lim¹, J. Noh¹, S. -M. Kim¹, S. K. Lee¹, C. Choi², B. H. Lee¹ (1.Gwangju Inst. of Sci. and Tech. (Korea), 2.Hanyang Univ. (Korea))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:43 〜 11:45 |PDF ダウンロード

[PS-1-06 (Late News)] High-hole mobility GeSn on glass formed by solid-phase crystallization using an atomic density controlled precursor

^○K. Moto^1,2, K. Toko¹, R. Yoshimine¹, T. Suemasu¹ (1.Univ. of Tsukuba (Japan), 2.JSPS Res. Fellow (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:45 〜 11:47 |PDF ダウンロード

[PS-2-01] Performance of WCN Diffusion Barrier for Cu Through Silicon Vias

Y. T. Kim¹,^○S. Lee^2,1, B. Ju² (1.Korea Inst. of Sci. and Tech. (Korea), 2.Korea Univ. (Korea))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:35 〜 11:37 |PDF ダウンロード

[PS-2-02] Optimization of Narrow Width Effect on Titanium Thermistor in Uncooled Antenna-Coupled Terahertz Microbolometer

^○A. Banerjee¹, H. Satoh¹, Y. Sharma¹, N. Hiromoto¹, H. Inokawa¹ (1.Shizuoka Univ. (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:37 〜 11:39 |PDF ダウンロード

[PS-2-03] Fatigue Testing of Poly-SiGe Film Using Microresonator

^○A. Uesugi¹, T. Namazu¹ (1.Aichi Inst. of Tech. (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:39 〜 11:41 |PDF ダウンロード

[PS-2-04] Characterization of TiHfN ternary alloy films as a new barrier

^○M. B. Takeyama¹, M. Sato¹ (1.Kitami Inst. of Tech. (Japan))

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials |2017年9月21日(木) 11:41 〜 11:43 |PDF ダウンロード

[PS-2-05] Effect of the crystallinity on the grain boundary diffusion of copper atoms in electroplated copper thin-film interconnections

^○K. Suzuki¹, H. Sakamoto¹, H. Miura¹ (1.Tohoku Univ. (Japan))

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