一般セッション(口頭講演)

[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G7 (B5号館 2F-2201)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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[29a-G7-1] NOx(x=1 or 2) / F2 混合ガスの高温下Si ケミカルドライエッチング (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工プラズマナノ工学研究センター)

[29a-G7-2] 耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト･オフパターニング (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○溝尻瑞枝，三上祐史，尾崎公洋 (産総研)

[29a-G7-3] 中性粒子ビームを用いた3D MEMSデバイス作製のためのSiエッチング (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○三輪和弘¹，植木真治¹，西森勇貴¹，杉山正和^1,2，久保田智広^1,3，寒川誠二^1,3，橋口原^1,4 (BEANS研¹，東大²，東北大³，静岡大⁴)

[29a-G7-4] △樹脂フィルムに常温実装したSiチップの接合強度の調査 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○（D）首藤高徳¹，岩鍋圭一郎¹，野田和宏²，中居誠也²，浅野種正¹ (九大¹，アドウェルズ²)

[29a-G7-5] 表面活性化処理を用いた金属/絶縁体混在基板の直接接合 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○萩原啓¹，後藤正英^1,2，大竹浩¹，井口義則¹，更屋拓哉²，年吉洋²，日暮栄治²，平本俊郎² (ＮＨＫ技研¹，東大²)

[29a-G7-5.1] 休憩(15分)

[29a-G7-6] ダイアフラム構造によるプラズモニックグレーティングの光学特性制御 (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○西山宏昭，柴田千尋，西井準治 (北大電子研)

[29a-G7-7] プラズモニック吸収体による波長選択型非冷却赤外線センサ-表面格子形状の検討- (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○高川陽輔¹，菰田潤哉¹，増田恭平¹，坂田浩太朗¹，小川新平²，木股雅章¹ (立命館大¹，三菱電機²)

[29a-G7-8] ▲Analysis of Microbolometer Operation by Electro-thermal Circuit Simulation (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○Ajay Tiwari，佐藤弘明，青木誠，武田正典，廣本宣久，猪川洋 (静岡大)

[29a-G7-9] PZT薄膜を用いたMEMS超音波探触子の特性評価と画像描出 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○和田隆亜¹，山本勝也¹，向山明博²，藤井隆満² (富士フイルム医療開発¹，富士フイルムIJ研究²)

[29a-G7-10] SiCグラフェンによる原子層スイッチ (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○西勇輝¹，日比野浩樹²，影島博之²，山口浩司²，永瀬雅夫¹ (徳島大¹，NTT 物性基礎研²)

[29a-G7-11] ラッチ機構を備えた可変間隙Si細線導波路カプラースイッチ (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○阿部翔太郎，金森義明，羽根一博 (東北大院工)

一般セッション(ポスター講演)

[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PA4 (第一体育館)

ポスター掲示時間13:30〜15:30(PA会場)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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[29p-PA4-1] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○米谷玲皇，劉琿，割澤伸一，石原直 (東大工)

[29p-PA4-2] △MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）井上純一¹，神田健介^1,2，斎藤誉司²，藤田孝之^1,2，前中一介^1,2 (兵庫県大工¹，JST²)

[29p-PA4-3] テトラ組成PZT薄膜を用いた圧電MEMS加速度センサ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小林健¹，鈴木靖弘²，牧本なつみ¹，前田龍太郎¹，及川貴弘³，和田亜由美³，舟窪浩³ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

[29p-PA4-4] アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○加賀谷賢¹，小西敏文²，山根大輔¹，本橋剛¹，松島隆明²，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²，東大³)

[29p-PA4-5] アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの設計 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小西敏文¹，山根大輔²，本橋剛²，加賀谷賢²，松島隆明¹，伊藤浩之²，石原昇²，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉² (ＮＴＴ－ＡＴ¹，東工大²，東大³)

[29p-PA4-6] アレイ型MEMS加速度センサの検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○山根大輔¹，小西敏文²，松島隆明²，本橋剛¹，加賀谷賢¹，伊藤裕之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTTアドバンストテクノロジ²，東大³)

[29p-PA4-7] 酸化チタンナノチューブ微小水素ガスセンサの特性に及ぼす水素処理の効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○戸邊翼，小島領太，木村康男，庭野道夫 (東北大通研)

[29p-PA4-8] CO₂ガスセンサのための波長選択赤外放射 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

澤田貴裕，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

[29p-PA4-9] 着衣可能な容量型呼吸センサ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

クンドウスブラタクマル，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

[29p-PA4-10] △微細構造体の分離によるマイクロ予備濃縮器の性能向上 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○柿田直輝¹，宮下英俊¹，岸田悟^1,2，李相錫¹ (鳥取大学工¹，TEDREC²)

[29p-PA4-11] GLEIA法による全自動インスリン測定チップの開発 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○塩原秀¹，牛島ひろみ²，浮田芳昭¹，福村康和³，高村禅¹ (北陸先端大¹，バイオデバイステクノロジー²，小松電子³)

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