09:00 〜 09:15
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:15 〜 09:30
〇佐藤 和重1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)
09:30 〜 09:45
〇後藤 哲也1、佐藤 恵一朗2、薮田 勇気3、須川 成利1、原 史朗4,5 (1.東北大未来研、2.コーテック、3.誠南工業、4.産総研、5.ミニマルファブ技術研究組合)
09:45 〜 10:00
〇羽深 等1、松尾 美弥1、山田 彩未1、李 寧1、三ケ原 孝則2,3、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)
10:00 〜 10:15
〇池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ケ原 孝則1,2、三浦 典子2、伊藤 孝宏3、羽深 等4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組、3.オリエンタルモーター、4.横国大)
10:15 〜 10:30
〇相澤 洸1、山田 武史1、野川 満徳1、大西 康弘1、三浦 典子1,3、石島 達夫2、北野 卓也2、鈴木 宏明2、塩田 有波2、クンプアン ソマワン3,4、原 史朗3,4 (1.米倉製作所、2.金沢大、3.ミニマル組合、4.産総研)
10:30 〜 10:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
10:45 〜 11:00
〇クンプアン ソマワン1,2、梅山 規男1,2、田中 宏幸1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
11:00 〜 11:15
〇来見田 淳也1,2、田中 宏幸1,2、梅山 規男1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)
11:15 〜 11:30
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)
11:30 〜 11:45
〇柳 永シュン1、古賀 和博1,2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組)
11:45 〜 12:00
〇岩田 真典1、万波 徹1、山内 信義1、三宅 賢治1、居村 史人2、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.PMT、2.産総研)
12:00 〜 12:15
〇居村 史人1,2、古賀 拓哉2、井上 道弘1、猿渡 新水1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)
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