13:45 〜 14:00
〇田中 宏幸1,2、古賀 和博2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、新堀 俊一郎2,3、岩瀬 千克2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.三友製作所)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年9月19日(木) 13:45 〜 17:15 E304 (E304)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:45 〜 14:00
〇田中 宏幸1,2、古賀 和博2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、新堀 俊一郎2,3、岩瀬 千克2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.三友製作所)
14:00 〜 14:15
〇ShuJun YE1、Kikuo YAMABE1、Tetsuo ENDOH1 (1.Tohoku Univ.)
14:15 〜 14:30
〇大堀 大介1、野田 周一2、野沢 善幸3、リャオ ブライアン3、藤井 竜介3、速水 利泰3、門井 幹夫4、石田 昌久5、田中 麻美5、曽田 匡洋5、遠藤 和彦1,2、寒川 誠二1,2 (1.東北大流体研、2.産総研、3.SPPテクノロジーズ、4.リソテックジャパン、5.長瀬産業)
14:30 〜 14:45
〇佐藤 和重1,3、古賀 和博1、野田 周一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
14:45 〜 15:00
〇三浦 典子1,2、佐藤 和重1、居村 史人1,3、山田 武史1,2、相澤 洸1,2、池田 伸一1,3、石田 夕起1,3、大西 康弘1,2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.米倉製作所、3.産総研)
15:00 〜 15:15
〇森川 剛一1、岡本 祥吾1、新藤 浩之1、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.宇宙航空研究開発機構、2.産業技術総合研究所)
15:15 〜 15:30
〇加瀬 雅1、古賀 和博2、中道 修平2、井原 昭典2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構)
15:45 〜 16:00
〇竹下 俊弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2、小林 健1 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構)
16:00 〜 16:15
〇古賀 和博1、森川 剛一2、加瀬 雅3、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.宇宙航空研究開発機構、3.産総研)
16:15 〜 16:30
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
16:30 〜 16:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)
16:45 〜 17:00
〇野田 周一1、古賀 和博2、根本 一正1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業(株))
17:00 〜 17:15
〇谷島 孝1,2、三浦 典子2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
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