13:30 〜 13:45
〇浜本 毅司1、古賀 和博1、小粥 敬成1、服部 淳一2,3、福田 浩一2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.産総研・東大 AIチップデザインオープンイノベーションラボラトリ)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年3月19日(金) 13:30 〜 16:15 Z24 (Z24)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:30 〜 13:45
〇浜本 毅司1、古賀 和博1、小粥 敬成1、服部 淳一2,3、福田 浩一2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.産総研・東大 AIチップデザインオープンイノベーションラボラトリ)
13:45 〜 14:00
〇古賀 和博1、柳 永勛2、居村 史人1,2、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
14:00 〜 14:15
〇佐藤 和重1,4、千葉 貴史1,4、寺田 昌男1,4、濱田 健吾1,4、中山 吉之3、金森 義明3、田中 宏幸2、加瀬 雅2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.東北大工、4.坂口電熱)
14:15 〜 14:30
〇居村 史人1、吉永 孝文2、釜崎 佳代2、菊野 敏博2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.熊本防錆工業、3.ミニマルファブ)
14:30 〜 14:45
〇小粥 敬成1、田中 宏幸1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
15:00 〜 15:15
〇居村 史人1、中道 修平2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
15:15 〜 15:30
〇大西 佳那1、西里 洋1、林 達也1、酒井 渉1、廣瀬 潤1、野田 周一2、小粥 敬成3、クンプアン ソマワン2,3、原 史郎2,3 (1.(株)堀場エステック、2.産総研、3.ミニマルファブ推進機構)
15:30 〜 15:45
〇野田 周一1、小粥 敬成2、酒井 渉3、廣瀬 潤3、林 達也3、大西 佳那3、西里 洋3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.堀場エステック)
15:45 〜 16:00
〇Mickael Lozach1、Sommawan Khumpuang1,2、Shiro Hara1,2 (1.Minimal Fab Promoting Organization、2.National Institute of Advanced Science and Technology (AIST))
16:00 〜 16:15
〇渡辺 幸志1、根本 一正1、三浦 典子2、加瀬 雅1、谷島 孝1、野田 周一1、梅澤 仁1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
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