13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩⼀郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.不⼆越機械⼯業)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩⼀郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.不⼆越機械⼯業)
14:00 〜 14:15
〇石田 夕起1,2、三ケ原 孝則1,2、三浦 典子2、伊藤 孝宏3、池田 伸一1,2、羽深 等4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組、3.オリエンタルモーター、4.横国大)
14:15 〜 14:30
〇松尾 美弥1、羽深 等1、山田 彩未1、李 寧1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマル、3.産総研)
14:30 〜 14:45
〇李 寧1、松尾 美弥1、羽深 等1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)
14:45 〜 15:00
〇田中 宏幸1,2、古賀 拓哉2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
15:00 〜 15:15
〇北野 卓也1、鈴木 宏明1、塩田 有波1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1、クンプアン ソマワン2,3、原 史郎2,3 (1.金沢大、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)
15:30 〜 15:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、速水 利泰3、宮崎 俊也3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
15:45 〜 16:00
〇三浦 典子1、居村 史人1,2、山田 武史1,3、相澤 洸1,3、池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ヶ原 孝則1,2、大西 康弘1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.米倉製作所)
16:00 〜 16:15
〇佐藤 和重1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)
16:15 〜 16:30
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)
16:30 〜 16:45
〇柳 永シュン1、クンプアン ソマワン1、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1 (1.産総研)
16:45 〜 17:00
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、猿渡 新水1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
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