一般セッション(口頭講演)
[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング
09:00 〜 09:15
〇林 俊雄1、 関根 誠1、 石川 健治1、 堀 勝1 (1.名古屋大工)
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09:15 〜 09:30
〇植山 稔正1、 岩田 学2、 福永 祐介1、 堤 隆嘉1、 竹田 圭吾1、 近藤 博基1、 石川 健治1、 関根 誠1、 大矢 欣伸2、 堀 勝1、 菅井 秀郎3 (1.名大院工、2.東京エレクトロン宮城、3.中部大学)
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09:30 〜 09:45
〇狩野 諒1,3、 菅 洋志1、 新堀 俊一郎2、 高橋 賢2、 宮脇 淳3、 久保 利隆3、 安藤 淳3、 清水 哲夫3 (1.千葉工大、2.三友製作所、3.産総研)
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09:45 〜 10:00
〇菅野 量子1、 礒辺 倫郎2、 浜口 智志2 (1.日立研開、2.阪大工)
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10:00 〜 10:15
〇(M1)黒田 源斗1、 高橋 和生1、 西尾 弘司1 (1.京都工繊大)
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10:15 〜 10:30
〇久保井 宗一1、 山華 雅司1、 石川 諭1 (1.東芝生産技術センター)
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10:30 〜 10:45
〇李 虎1、 唐橋 一浩1、 深沢 正永2、 長畑 和典2、 辰巳 哲也2、 浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)
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10:45 〜 11:00
〇熊本 顕人1、 Mauchamp Nicolas1、 礒部 倫郎1、 溝谷 浩平1、 李 虎1、 伊藤 智子1、 唐橋 一浩1、 浜口 智志1 (1.阪大工)
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11:00 〜 11:15
〇久保田 智広1、 美山 遼2、 菊地 良幸2、 寒川 誠二1,3 (1.東北大流体研、2.東京エレクトロン、3.東北大WPI-AIMR)
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11:15 〜 11:30
〇久保田 智広1、 久保 百司2、 寒川 誠二1,3 (1.東北大流体研、2.東北大金研、3.東北大WPI-AIMR)
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11:30 〜 11:45
〇篠田 和典1、 三好 信哉1、 小林 浩之1、 栗原 優1、 酒井 哲2、 伊澤 勝2、 石川 健治3、 堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)
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