2018 International Conference on Solid State Devices and Materials

2018年9月9日〜 2018年9月13日
University of Tokyo

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[PS-1-16] Vertical gate-all-around transistors with symmetrical silicided S/D contacts for high performance p-FET devices.

^○G. Larrieu¹, N. Mallet¹, Y. Guerfi¹, F. Cristiano¹, J. Pezard¹, A. Lecestre¹ (1.LAAS CNRS (France))

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[PS-1-17] Steep Switching Less Than 15 mV/decade in Silicon-on-Insulator Tunnel FETs by Trimmed-Gate Structure

^○H. Asai¹, T. Mori¹, T. Matsukawa¹, J. Hattori¹, K. Endo¹, K. Fukuda¹ (1.AIST (Japan))

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[PS-1-18] High Performance NiGe/n-Ge Junctions and pMOSFETs Fabricated with Dopant Segregation

^○S. Yuan¹, J. Li¹, R. Zhang¹, Y. Zhao¹ (1.Zhejiang University (China))

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[PS-1-19] Back Gate Modulation of Ultra-Thin-Body InGaAs-OI nMOSFET

^○X. Tang^1,2, R. Zhang¹, Y. Zhao¹ (1.Zhejiang Univ. (China), 2.Nanjing Univ. (China))

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[PS-1-20] Impact of Ge Fraction to Bulk Resistivity and Work Function of NiSiGe Alloys

^○S. Zeng¹, J. Li¹, R. Zhang¹, Y. Zhao¹ (1.Zhejiang Univ. (China))

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[PS-1-21] Improved Conductance Method for Interface Trap Density of ZrO2-Si interface

^○H.J. Lin^1,2 (1.National Chiao Tung Univ. (Taiwan), 2.Tohoku Univ. (Japan))

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[PS-1-22] Time-Dependent Selective Oxidation by Low Pressure Oxidation on High-Ge-Content SiGe

^○W.L. Lee¹, J.L. Zhang¹, S.Y. Wang¹, M.L. Tsai¹, G.L. Luo², C.H. Chien¹ (1.National Chiao Tung Univ. (Taiwan), 2.National Nano Device Labs. (Taiwan))

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[PS-1-23] Identification of different gas-phase reaction modes of WF₆ with SiH₄ for deposition of WSi_n films: powder formation and WSi_n cluster synthesis

^○N. Okada¹, N. Uchida¹, S. Ogawa¹, T. Kanayama¹ (1.AIST (Japan))

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[PS-1-24] Improvement of Interface Properties of Ge-MISFET with Crystalline La₂O₃ high-k/Ge(111) Gate Stacks by Wet Treatments

^○T. Kanashima¹, H. Furusho¹, K. Takayama¹, H. Nohira², K. Yamamoto³, H. Nakashima³ (1.Osaka Univ. (Japan), 2.Tokyo City Univ. (Japan), 3.Kyushu Univ. (Japan))

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[PS-1-25] A Study of Interfacial Layer Quality and Thermal Stability of HfO₂/SiGe Gate Stack by Using NH₃ Plasma Treatment

^○C.Y. Yu¹, W.L. Lee¹, M.L. Tasi¹, J.L. Zhang¹, G.L. Luo², C.H. Chien¹ (1.National Chiao Tung Univ. (Taiwan), 2.National Nano Device Labs. (Taiwan))

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