09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
09:15 〜 09:30
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、北山 侑司2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:30 〜 09:45
〇居村 史人1,2、古賀 和博1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:45 〜 10:00
〇三浦 典子1、山田 武史1,2、相澤 洸1,2、池田 伸一1,3、石田 夕起1,3、三ヶ原 孝則1,3、西里 洋1,4、梅山 規男1,3、大西 康弘1,2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ、2.米倉製作所、3.産総研、4.堀場エステック)
10:00 〜 10:15
〇佐藤 和重1、遠江 栄希1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)
10:15 〜 10:30
〇佐藤 和重1、遠江 栄希1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)
10:30 〜 10:45
〇梅山 規男1,2、古賀 和博1,2、居村 史人1,2、澁谷 和孝3、布施 貴之3、中村 由夫3、市川 浩一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.不二越機械工業)
11:00 〜 11:15
〇李 寧1、羽深 等1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)
11:15 〜 11:30
〇三ケ原 孝則1,2、三浦 典子1、石田 夕起2、伊藤 孝宏3、池田 伸一2、羽深 等4、クンプアン ソマワン2、原 史郎2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.オリエンタルモーター、4.横浜国立大学)
11:30 〜 11:45
〇北山 侑司1、竹田 宣生3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.(株)大日本科研)
11:45 〜 12:00
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、速水 利泰2,3、宮崎 俊也2,3、入田 亮一2,4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル、3.SPPT、4.PMT)
12:00 〜 12:15
〇遠江 栄希1、松橋 淑光1,2、上斗米 稔1,2、佐藤 和寛1,2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ、2.黒田精工、3.産総研)
12:15 〜 12:30
〇田島 奈穂子1,2、飯田 健次郎1,2、榎原 研正1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)
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