13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、三浦 典子2、佐藤 和重2、波田 美耶子3、西里 洋3、森山 匠4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.堀場エステック、4.堀場製作所)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、三浦 典子2、佐藤 和重2、波田 美耶子3、西里 洋3、森山 匠4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.堀場エステック、4.堀場製作所)
14:00 〜 14:15
室井 光子1、松尾 美弥1、〇羽深 等1、三ケ原 孝則2,3、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
14:15 〜 14:30
〇三浦 典子1,3、梅山 規男1,2、山田 武史1,3、相澤 洸1,3、池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ヶ原 孝則1,2、大西 康弘1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.米倉製作所)
14:30 〜 14:45
〇野田 周一1、田中 宏幸1,2、根本 一正1、古賀 和博2、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業(株))
14:45 〜 15:00
〇石田 夕起1,2、三ヶ原 孝則1、三浦 典子2、池田 伸一1,2、伊藤 孝宏3、羽深 等4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.オリエンタルモーター、4.横国大)
15:00 〜 15:15
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
15:30 〜 15:45
〇加瀬 雅1、田中 宏幸1,2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
15:45 〜 16:00
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
16:00 〜 16:15
〇居村 史人1,2、影山 智明1,3、井上 道弘1、猿渡 新水1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル、3.鳥大)
16:15 〜 16:30
〇万波 徹1、兼子 宏子1、山内 信義1、岩田 真典1、三宅 賢治1、吉永 孝文2、クンプアン ソマワン3、原 史郎3 (1.ピーエムティー、2.熊本防錆、3.産総研)
16:30 〜 16:45
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン