シンポジウム(口頭講演)
[20p-E301-1~9] 窒化物半導体エッチング技術 〜高制御性と低損傷性を求めて〜
2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:35 E301 (E301)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:30 〜 13:35
〇佐藤 威友1 (1.北大)
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13:35 〜 14:05
〇佐野 泰久1、 有馬 健太1、 山内 和人1 (1.阪大院工)
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14:05 〜 14:35
〇伊藤 昌平1、 Agnieszka Kurek1、 Mike Cooke1 (1.ｵｯｸｽﾌｫｰﾄﾞｲﾝｽﾄｩﾙﾒﾝﾂ)
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14:35 〜 15:05
〇堀切 文正1、 福原 昇1 (1.サイオクス)
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15:05 〜 15:35
〇三島 友義1 (1.法政大)
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15:50 〜 16:20
〇山田 真嗣1,2,3、 櫻井 秀樹1,2,3、 長田 大和3、 中村 敏幸3、 上村 隆一郎3、 須田 淳1,2、 加地 徹1 (1.名大未来研、2.名大院工、3.アルバック半電研)
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16:20 〜 16:50
〇塩島 謙次1 (1.福井大院工)
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16:50 〜 17:20
〇菅原 健太1、 岡田 政也1、 市川 弘之1、 井上 和孝1、 大堀 大介2、 寒川 誠二2,3 (1.住友電工、2.東北大流体研、3.東北大AIMR)
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17:20 〜 17:35
〇蔵口 雅彦1、 彦坂 年輝1、 新留 彩1、 梶原 瑛祐1、 加藤 大望1、 大野 浩志1、 向井 章1、 布上 真也1 (1.東芝研究開発センター)
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