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[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2021年3月18日(木) 13:30 〜 17:15 Z24 (Z24)

東清一郎(広島大)、岡田竜弥(琉球大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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13:30 〜 13:45

△ [18p-Z24-1] ラマン分光法およびPL法を用いたSiトレンチ加工による結晶欠陥評価

〇小原田賢聖¹、佐竹雄太¹、吉際潤²、嵯峨幸一郎²、岩元勇人²、門龍翔¹、澤本直美^1,3、横川凌^1,3、小椋厚志^1,3 (1.明治大理工、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)、3.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

13:45 〜 14:00

[18p-Z24-2] ラマン分光法によるAsイオン注入Siの歪評価

〇小原田賢聖¹、佐竹雄太¹、横川凌^1,2、小椋厚志^1,2 (1.明治大理工、2.再生可能エネルギー研究インスティテュート)

14:00 〜 14:15

[18p-Z24-3] スパッタエピタキシ法を用いた格子整合SiGe薄膜形成におけるスパッタガス圧の効果

〇池野憲人¹、青柳耀介²、広瀬信光³、笠松章史³、松井敏明³、須田良幸²、塚本貴広¹ (1.電気通信大学、2.東京農工大学、3.情報通信研究機構)

14:15 〜 14:30

[18p-Z24-4] エッチバック法を用いたGe-on-Insulator作製に向けたウェットエッチング法の検討

〇清水昇¹、山本圭介¹、王冬¹、中島寛² (1.九大・総理工、2.九大・GIC)

14:30 〜 14:45

[18p-Z24-5] プラズマCVDによるアモルファスシリコン堆積時の瞬間加熱に関する研究

〇(M1)野島大志¹、佐藤拓磨¹、花房宏明¹、東清一郎¹ (1.広大院先進理工)

14:45 〜 15:00

[18p-Z24-6] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化P型Ge膜の電気特性評価

〇赤塚祐允¹、佐藤拓磨¹、花房宏明¹、東清一郎¹ (1.広大院先端研)

15:00 〜 15:15

▲ [18p-Z24-7] Characteristics of Millisecond Solid Phase Crystallization of Phosphorus Doped Silicon Film Annealed by Thermal-Plasma-Jet Irradiation

〇(D)Nguyen ThiKhanh Hoa¹、Hiroaki Hanafusa¹、Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)

15:30 〜 15:45

[18p-Z24-8] SiNキャッピングしたガラス上InSb膜のRTAによる結晶化

〇阪本弦太¹、島袋明香¹、野口隆¹、岡田竜弥¹ (1.琉大工)

15:45 〜 16:00

△ [18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発

〇(M2)清瀬俊¹、平井義和¹、田畑修²、土屋智由¹ (1.京大工、2.京先端大工)

16:00 〜 16:15

△ [18p-Z24-10] ワイドレンジ検出可能なAu錘1軸MEMS加速度センサの検討

〇(M1)内山晃宏¹、市川崇志¹、柴田滉平¹、飯田慎一²、李尚曄¹、石原昇¹、町田克之¹、益一哉¹、伊藤浩之¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

16:15 〜 16:30

[18p-Z24-11] レジオネラ菌の識別に向けたフォトゲート型蛍光センサによる計測システムの検討

〇本田優斗¹、崔容俊¹、村上健介¹、石井仁¹、野田俊彦¹、高橋一浩¹、澤田和明¹、町田克之²、伊藤浩之²、斎藤光正³、二階堂靖彦³ (1.豊橋技科大、2.東工大、3.産業医科大)

16:30 〜 16:45

[18p-Z24-12] フェリチンの２次元配列におけるグリセロール含有溶媒の効果

〇大堀大介¹、竹内聡¹、佐藤旭¹、石田昌久²、曽田匡洋²、田中麻美²、遠藤和彦^1,3、寒川誠二^1,3,4 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.産総研、4.東北大AIMR)

16:45 〜 17:00

[18p-Z24-13] 化学修飾XPS法によるウェハ直接接合における表面処理の影響評価

〇曹健¹、池上友佳子¹、伊藤宜司¹、栂嵜隆¹、藪原秀彦¹ (1.東芝)

17:00 〜 17:15

▲ [18p-Z24-14] Effect of surface step structures on the thermal responsivity of MEMS bolometers

〇(D)Boqi Qiu¹、Ya Zhang²、Naomi Nagai¹、Kazuhiko Hirakawa¹ (1.IIS/INQIE, Univ. of Tokyo、2.TUAT)

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