一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2022年9月22日(木) 13:00 〜 17:00 A406 (A406)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇布村 正太1、坂田 功1、古閑 一憲2、白谷 正治2 (1.産総研、2.九大)
スケジュール
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13:15 〜 13:30
〇郷矢 崇浩1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)
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13:30 〜 13:45
〇平田 瑛子1、深沢 正永1、J. U. Tercero2、釘宮 克尚1、萩本 賢哉1、唐橋 一浩2、浜口 智志2、岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)、2.阪大院工)
スケジュール
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13:45 〜 14:00
〇篠田 和典1、三浦 勝哉1、前田 賢治2、伊澤 勝2、NGUYEN Thi-Thuy-Nga3、石川 健治3、堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)
スケジュール
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14:00 〜 14:15
〇窪田 康生1、高橋 和生1 (1.京工繊大)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
〇(M2)加藤 響1、花房 宏明1、佐藤 拓磨1、東 清一郎1 (1.広島大先進理工)
スケジュール
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14:30 〜 14:45
〇関 悠斗1、加藤 閣人1、久保井 宗一1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
スケジュール
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14:45 〜 15:00
〇市川 景太1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1,3 (1.名古屋大工、2.キオクシア、3.核融合研)
スケジュール
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15:15 〜 15:30
〇竹中 弘祐1、林 祐仁1、都甲 将1、江部 明憲2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)
スケジュール
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15:30 〜 15:45
〇大堀 大介1、Chen Yi-Ho2、尾崎 卓哉1、遠藤 和彦3、Li Yiming2、寒川 誠二2,1,4 (1.東北大流体研、2.NYCU、3.産総研、4.東北大AIMR)
スケジュール
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15:45 〜 16:00
〇竹谷 透1、岡田 健1 (1.東北大院工)
スケジュール
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16:00 〜 16:15
〇山本 晃大1、長尾 伊織1、山本 祐馬1、大高 真寛1、山下 大輔1、鎌滝 晋礼1、奥村 賢直1、山下 尚人1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1,2、白谷 正治1 (1.九大シス情、2.自然科学研究機構)
スケジュール
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16:15 〜 16:30
〇(M1C)西村 美優紀1、太田 貴之1 (1.名城大理工)
スケジュール
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16:30 〜 16:45
〇木賀 海青1、山田 輝也1、花井 稜1、益本 幸泰1、内田 儀一郎1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)
スケジュール
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16:45 〜 17:00
〇川崎 仁晴1、大島 多美子1、柳生 義人1、猪原 武士1、日比野 祐介1、佐竹 卓彦1,2、青木 振一2 (1.佐世保高専、2.崇城大)
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