09:00 〜 09:15
〇Mickael Lozach1、Kazushige Sato1,2、Sommawan Khumpuang1,3、Shiro Hara1,3,4 (1.Minimal Fab、2.Sakaguchi E.H. VOC、3.AIST、4.Hundred)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
09:00 〜 09:15
〇Mickael Lozach1、Kazushige Sato1,2、Sommawan Khumpuang1,3、Shiro Hara1,3,4 (1.Minimal Fab、2.Sakaguchi E.H. VOC、3.AIST、4.Hundred)
09:15 〜 09:30
〇中道 修平1、本郷 仁啓1、三浦 典子1、居村 史人2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.(株)Hundred Semiconductors)
09:30 〜 09:45
〇浜本 毅司1、北山 侑司3、丸山 智史3、クンプアン ソマワン1,2、柴 育成3、原 史朗1,2,4 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.横河ソリューション、4.(株)Hundred Semiconductors)
09:45 〜 10:00
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、濱田 健吾1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱、4.Hundred Semiconductors)
10:15 〜 10:30
〇田中 宏幸1、徳永 博司2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,4、原 史朗1,4,5 (1.産総研、2.MTC、3.SPPテクノロジーズ、4.ミニマルファブ推進機構、5.Hundred Semiconductors)
10:30 〜 10:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)
10:45 〜 11:00
〇居村 史人1,2、大園 満1、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.Hundred、3.ミニマルファブ)
11:00 〜 11:15
〇加瀬 雅1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,3 (1.産総研、2.ミニマル、3.Hundred Semiconductors)
11:15 〜 11:30
〇三浦 典子1、橋本 直樹2、北村 是尊2、居村 史人3,4、石田 夕起1,3、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研、4.(株)Hundred Semiconductors)
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