13:30 〜 15:30

[17p-P2-1] 真空紫外吸収分光計測用同軸型小型マイクロ波プラズマ光源の開発

^○（M1）鄭霊東¹，永津雅章²，佐々木浩一³，Xijing Chang² (静岡大院¹，創造科学技術院大²，北大³)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-2] 誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れ

^○鈴木惇也，出口雅則，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-3] 高周波化バリア放電による高密度小径オゾナイザの開発

辻野純司，^○北嶋武，中野俊樹 (防大電)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-4] 水中誘電体バリア放電プラズマによるメチレンブルーの脱色反応

^○森雄哉，関聡史，安井晋示 (名工大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-5] ベンゼンを原料としたアモルファス状炭素膜の成膜プロセスにおける基板バイアスの効果の赤外分光計測

谷口雄二郎，八木翔平，^○篠原正典，松田良信，藤山寛 (長崎大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-6] 減圧マイクロ波放電水素プラズマの分子回転温度の振動量子数依存性

^○赤塚洋¹，清水良浩²，根津篤¹，松浦治明¹ (東工大原子炉研¹，東工大院理工²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-7] プローブを用いた粉体スパッタプラズマの計測

^○川崎仁晴，谷山大地，竹市悟志，大島多美子，柳生義人，猪原武士，田中雪，須田義昭 (佐世保高専)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-8] Arガスを用いた容量結合型RFプラズマ中における金属の電流電圧特性Ⅶ

^○久保隆 (広国院大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-9] バラン給電型SiH₄/H₂リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価

^○滝下裕基，牟田浩司，栗林志頭眞，西田哲 (岐阜大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-10] 大面積VHFプラズマ中の定在波測定

^○廣井将平，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-11] 水素プラズマにおける炭素ダストの成長過程

^○長谷川義人¹，伊藤篤史²，剣持貴弘¹，和田元¹ (同志社大¹，核融合研²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-12] 14GHzECRイオン源のプラズマ診断

^○（B）田村僚¹，市川智也¹，粕谷俊郎¹，剣持貴弘¹，前野修一²，西田睦聡¹，西浦正樹³，山岡人志⁴ (同志社大¹，ノベリオンシステムズ²，核融合科学研究所³，理研 Spring-8⁴)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-13] イオンビーム機器内部のパーティクル輸送検出

^○（M1）岡島佑樹，和田元，粕谷俊郎，宮本直樹 (同志社大)

13:30 〜 15:30

△ [17p-P2-14] 大気圧ヘリウムプラズマジェットにより生成されるO、OHラジカルの表面近傍における計測

^○（D）米森星矢，小野亮 (東大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-15] 液体電極を用いて生成された大気圧非熱平衡プラズマ内の電子密度・電子温度計測

^○富田健太郎，永井和彦，山形幸彦，内野喜一郎 (九大総理工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-16] 電極間距離の自動制御によるソリューションプラズマ反応場の精密測定

^○木口崇彦¹，許容康²，齋藤永宏^1,2,3 (名大グリモ¹，名大院工²，名大エコトピア³)

13:30 〜 15:30

△ [17p-P2-17] ソリューションプラズマを用いた金属の還元および還元種の解析

^○加藤諒¹，木口崇彦²，齋藤永宏^1,2 (名大院工¹，名大　グリーンモビリティ²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-18] 非平衡プラズマジェットCVDに於けるガス流速がSi成膜品質に及ぼす影響の考察

^○井関将仁，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-19] 衝突噴流群PECVD法を用いたSi薄膜の大面積化に関する考察

^○金田直也，西田哲，牟田浩司，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-20] バラン給電型リモートプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発

^○岡田俊，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-21] VHF-PECVDで形成したSiNx膜中の化学結合経時変化

^○小林信一 (東京工芸大工)

13:30 〜 15:30

△ [17p-P2-22] デュアルマイクロ波プラズマ源CVDを用いた窒化炭素膜の合成

^○（M2）猪飼治¹，木口崇彦²，Maria Bratescu³，齋藤永宏^1,2,3 (名大院工¹，名大グリモ²，名大エコトピア³)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-23] RF励起NH₃プラズマを用いたグラフェン外包磁気ナノ微粒子のアミノ基　表面修飾におけるNHラジカルの効果

^○張ハン¹，楊恩波²，永津雅章^1,2 (静大院工¹，創造科技院²)

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P2-24] Capture of Cesium from Water by Using Plasma Induced Chitosan-grafted Magnetic Carbon Nanotubes

^○楊樹斌^1,2，張晗³，王祥科²，永津雅章^1,3 (静岡大学創造科学技術大学院¹，中国科学院・プラズマ物理研究所静大創造大学院²，静岡大院工³)

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P2-25] Effect upon the film morphology due to distance between the ECR plasma excitation antenna and the deposition target surface

^○Camille Faith Romero，山中優，和田元 (同志社大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-26] RFアンバランスドスパッタを用いたCr-Al-N-O薄膜の合成

^○福垣内学¹，浅野誠¹，三木靖浩¹，平井誠²，杉山恭平² (奈良県産業振興総合センター¹，奈良高専²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-27] 冷陰極ランプ用MgO膜付Ni電極の放電電圧特性

^○後藤みき，中村有祐，三栖貴行，荒井俊彦 (神奈川工科大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-28] バリア型沿面放電プラズマによるDLC膜の生成

^○多田和也，多久和鉄也，安井晋示 (名工大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-29] 紫外光アシストHeプラズマによるn-GaN表面エッチングダメージ

^○川上烈生¹，新部正人²，中野由崇³，向井孝志⁴，白濱達夫¹，山田哲也¹，青木一馬¹，仲祐弥¹，高畑麻里¹，大場健太¹ (徳島大院工¹，兵庫県大高度研²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-30] AlGaAs系フォトニック結晶作製に向けたドライエッチングにおけるエッチングマスクに関する研究

^○栂野裕二，北林佑太，近藤正彦 (阪大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-31] クラスタープラズマによるコーティング除去技術Ⅱ

^○池田健一 (福岡工技センター)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-32] AlGaNのドライエッチングへのBCl₃の影響に関する研究

^○劉璞誠¹，米澤宏昭²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-33] 高圧マイクロ波水素プラズマによるSi高速エッチングにおけるプラズマ分布の評価

^○山田高寛^1,3，山田浩輔¹，足立昴拓²，大参宏昌^1,3，垣内弘章^1,3，安武潔^1,3 (阪大院工¹，阪大工²，JST CREST³)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-34] 誘導結合型フルオロカーボンプラズマにおける有機ポリマー材料のエッチング特性

^○（M1）松江駿佑，高橋和生 (京都工芸繊維大工)

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P2-35] Rapid growth of carbon nanowalls by surface wave microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition

^○Takashi Uchida，Yoshikazu Yoshida (Toyo Univ.)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-36] 同軸ガス流型低圧パルスプラズマを用いた酸化亜鉛のナノ構造形成

^○白畑太樹，飯塚哲 (東北大院工)

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P2-37] One-Pot Synthesis of Fe-N-Carbon by Solution Plasma Process and its Nanostructure Characteristic and Electrochemical Activity

^○Panuphong Pootawang，齋藤永宏 (名大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-38] 斜め堆積スパッタリングにより作製した微細構造化ITO薄膜の光学特性

^○井上泰志¹，石井琢¹，太田有祐¹，加藤正鷹¹，枡川尊重¹，高井治² (千葉工大工¹，関東学院大²)

13:30 〜 15:30

▼ [17p-P2-39] Controlling Oxidation level of Graphene/Graphene Oxide by Solution Plasma from the Exfoliation of Graphite Oxide

^○Garbis Akceoglu，Pootawang Pootawang，齋藤永宏 (名大)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-40] 水素プラズマによる二酸化炭素の分解とメタンの生成

^○有田圭佑，飯塚哲 (東北大院工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-41] 車載用CO2分解装置の開発

丹羽駿太¹，森井良成¹，藤井栄人¹，渡邊直弥¹，^○池澤俊治郎¹，長瀬典男² (中部大工¹，長瀬鉄工所²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-42] 大気圧Airプラズマによるトイレ浄化槽の革命

^○森井良成，丹羽駿太，藤井栄人，渡邉直弥，饒村修，池澤俊治郎 (中部大工)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-43] 高圧アルゴン雰囲気における気液界面プラズマの放電特性およびアミノ酸重合への応用

^○（M1）林祐衣¹，ディオノワーユ¹，マームダーシティ¹，高田昇治¹，佐々木浩一²，後藤元信¹ (名大工¹，北大工²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-44] 絶縁管内における水中プラズマの発生と分光計測

^○林孝憲¹，田中彩果¹，向笠忍¹，川嶋文人²，前原常弘¹ (愛媛大院理工¹，愛媛大農²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-45] 大気圧プラズマジェット照射された蒸留水のHPLC測定

^○桑畑周司¹，毛塚智子¹，三上一行² (東海大工¹，東海大理²)

13:30 〜 15:30

▲ [17p-P2-46] Inactivation of Geobacillus Stearothermophilus Spore Wrapped by Tyvek Sheet Using Bubble Discharge Plasma in Water

^○Xiaoli Yang¹，ソニアムラヂア¹，岡田直也²，永津雅章^1,2 (静大創造大院¹，静大大学院工²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-47] 水素ラジカルを用いた遷移金属の選択加熱現象による薄膜トランジスタ用多結晶Si形成

^○中家大希¹，荒井哲司¹，有元圭介¹，山中淳二¹，佐藤哲也¹，中川清和¹，高松利行²，澤野憲太郎³，白木靖寛³ (山梨大¹，SST²，東京都市大³)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-48] 液中バブル放電プラズマを用いた官能基修飾磁気ナノ微粒子による金属陽イオン吸着

^○（M1）岡田直也¹，張晗¹，楊樹斌²，永津雅章² (静大院工¹，静大創造科学院²)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-49] マイクロ波放電による空間的アフターグロープラズマにおける紫外線とラジカル種の殺菌効果の比較

^○落合剛志，加藤勇 (早大院先進理工)

セッション一覧

08．プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

△ [17p-P2-14] 大気圧ヘリウムプラズマジェットにより生成されるO、OHラジカルの表面近傍における計測

△ [17p-P2-17] ソリューションプラズマを用いた金属の還元および還元種の解析

△ [17p-P2-22] デュアルマイクロ波プラズマ源CVDを用いた窒化炭素膜の合成

▲ [17p-P2-24] Capture of Cesium from Water by Using Plasma Induced Chitosan-grafted Magnetic Carbon Nanotubes

▲ [17p-P2-25] Effect upon the film morphology due to distance between the ECR plasma excitation antenna and the deposition target surface

▲ [17p-P2-35] Rapid growth of carbon nanowalls by surface wave microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition

▲ [17p-P2-37] One-Pot Synthesis of Fe-N-Carbon by Solution Plasma Process and its Nanostructure Characteristic and Electrochemical Activity

▼ [17p-P2-39] Controlling Oxidation level of Graphene/Graphene Oxide by Solution Plasma from the Exfoliation of Graphite Oxide

▲ [17p-P2-46] Inactivation of Geobacillus Stearothermophilus Spore Wrapped by Tyvek Sheet Using Bubble Discharge Plasma in Water