13:00 〜 13:15
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
13:00 〜 13:15
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
13:15 〜 13:30
〇三浦 典子1、橋本 直樹1,2、北村 是尊1,2、居村 史人1,3、佐藤 和重1、古賀 和博1、石田 夕起1,3、大平 俊行1,3、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジ・インバック、3.産総研)
13:30 〜 13:45
〇古賀 和博1、柳 永勛2、居村 史人1,2、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
13:45 〜 14:00
〇森川 剛一1、竹内 浩造1、五十嵐 泰史1、新藤 浩之1、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.宇宙航空研究開発機構、2.産業技術総合研究所)
14:00 〜 14:15
〇影山 智明1,2、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3、李 相錫1 (1.鳥取大工、2.産総研、3.ミニマル)
14:15 〜 14:30
〇加瀬 雅1、田中 宏幸1,3、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
14:30 〜 14:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
14:45 〜 15:00
〇居村 史人1,2、岩崎 聖次3、松下 博史3、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.石井工作研究所)
15:15 〜 15:30
〇柳 永シュン1、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)
15:30 〜 15:45
〇クンプアン ソマワン1,2、根本 一正1,2、田中 宏幸1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
15:45 〜 16:00
〇飯塚 治己1,2、谷島 孝3,2、三浦 典子2、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3 (1.横河ソリューションサービス、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
16:00 〜 16:15
〇影山 智明1,2、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3、李 相錫1 (1.鳥取大工、2.産総研、3.ミニマル)
16:15 〜 16:30
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
16:30 〜 16:45
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、三浦 典子2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
パスワード認証
PDFの閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。
事前参加予約が完了した方にパスワードを配信しております。
当日参加受付をする方はお渡しする参加票裏面に記載のパスワードをご使用ください。
応用物理学会会員の皆様には2019年3月にパスワードを配信します。
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン