13:45 〜 14:00
〇小山 真広1、岡 博史1、天本 隆史1、冨永 幸平1、田中 章吾1、細井 卓治1、志村 孝功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:45 S423 (南4号館)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:45 〜 14:00
〇小山 真広1、岡 博史1、天本 隆史1、冨永 幸平1、田中 章吾1、細井 卓治1、志村 孝功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)
14:00 〜 14:15
〇原田 大夢2、中谷 太一1、新 良太1、東 清一郎1 (1.広島大学先端物質科学研究科、2.広島大学工学部)
14:15 〜 14:30
〇西村 勇哉1、中島 拓哉1、母里 誠1、原 明人1 (1.東北学院大工)
14:30 〜 14:45
〇中島 涼介1、花房 宏明2、東 清一郎2 (1.広大工、2.広大院先端研)
14:45 〜 15:00
〇堀田 將1、マイ リアン1 (1.北陸先端大マテリアル)
15:00 〜 15:15
〇(M2)仁枝 嘉昭1、佐々木 伸夫2、菱谷 大輔1、堀田 昌宏3、石河 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.日本女子大、3.京大)
15:15 〜 15:30
〇原田 大成1、我喜屋 風太1、安次富 卓哉1、岡田 竜弥1、野口 隆1、野田 勘治2、諏訪 明2,3、池上 浩3、奥山 哲雄4 (1.琉球大工、2.ギガフォトン、3.九州大シ、4.東洋紡)
15:30 〜 15:45
〇原田 大成1、安次富 卓哉1、岡田 竜弥1、野口 隆1、西方 靖2、太田 淳2 (1.琉球大学工、2.アルバック(株))
15:45 〜 16:00
〇楊 天煕1、魏 煌1、鈴木 仁1、岡田 竜弥1、野口 隆1、河本 直哉2 (1.琉球大工、2.山口大工)
16:00 〜 16:15
〇岡田 竜弥1、志津 勇介1、野口 隆1 (1.琉大工)
16:30 〜 16:45
〇陳 訳1、岡田 竜弥1、野口 隆1、マッツァムト フルビオ2、ヒュエット カリム2 (1.琉球大工、2.スクリーンセミコンダクタ(株))
16:45 〜 17:00
〇太田 康介1、木村 駿介1、蓮見 真彦1、鮫島 俊之1、鈴木 歩太2、牛島 満2 (1.農工大、2.東京エレクトロン)
17:00 〜 17:15
〇谷村 英昭1、河原崎 光1、小野 行雄1、山田 隆泰1、加藤 慎一1、青山 敬幸1、小林 一平1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
17:15 〜 17:30
〇(P)Liu Chi1、Ikegaya Hiroki1、Nishimura Tomonori1、Toriumi Akira1 (1.Univ. of Tokyo)
17:30 〜 17:45
〇横川 凌1、高橋 和也2、小森 克彦2、廣田 良浩3、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北㈱、3.東京エレクトロン㈱)
17:45 〜 18:00
〇水上 隆達1、中川 明俊2、平松 和樹2、竹島 真治2、山下 知徳1、東 清一郎2 (1.広大工、2.広大先端研)
18:00 〜 18:15
〇池谷 大樹1、西村 知紀1、矢嶋 赳彬1、鳥海 明1 (1.東大院工)
18:15 〜 18:30
〇森山 光1、葉 文昌1 (1.島根大学)
18:30 〜 18:45
〇(P)Huynh ThiCamTu1、Koyama Koichi1、Terashima Shigeki1、Matsumura Hideki1 (1.JAIST)
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