一般セッション(口頭講演)
[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング
09:00 〜 09:15
〇唐橋 一浩1、 李 虎1、 山田 健太郎1、 伊藤 智子1、 沼沢 聡志2、 町田 顕2、 石川 清志2、 浜口 智志1 (1.阪大院工 アトミックデザイン研究センター、2.(株)サムスン日本研究所)
09:15 〜 09:30
〇(M1)黒田 源斗1、 高橋 和生1、 西尾 弘司1 (1.京都工繊大)
09:30 〜 09:45
〇植山 稔正1、 竹田 圭吾1、 近藤 博基1、 石川 健治1、 関根 誠1、 堀 勝2、 岩田 学3、 大矢 欣伸3 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.東京エレクトロン宮城)
09:45 〜 10:00
〇武田 直己1、 張 彦1、 林 俊雄1、 関根 誠1、 竹田 圭吾1、 近藤 博基1、 石川 健治1、 堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)
10:00 〜 10:15
〇今村 真人1、 劉 沢城1、 潘 佳林1、 谷出 敦3、 石川 健治1、 竹田 圭吾1、 近藤 博基1、 小田 修1、 関根 誠1、 堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.SCREENホールディングス)
10:15 〜 10:30
〇吉川 憲一1、 浅野 敦紀2、 宮脇 雄大2、 古本 一仁1、 佐々木 俊行1、 菊谷 圭介1、 林 久貴1、 関根 誠2、 堀 勝2 (1.株式会社 東芝、2.名古屋大学)
10:30 〜 10:45
〇李 虎1、 唐橋 一浩1、 深沢 正永2、 長畑 和典2、 辰巳 哲也2、 浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)
10:45 〜 11:00
〇李 虎1、 Friederich Pascal2、 Fink Karin2、 Wenzel Wolfgang2、 唐橋 一浩1、 深沢 正永3、 長畑 和典3、 辰巳 哲也3、 浜口 智志1 (1.阪大院工、2.カールスルーエ工科大、3.ソニー)
11:00 〜 11:15
〇野田 周一1、 水林 亘2、 菊池 亜紀応1、 遠藤 和彦2、 寒川 誠二1,2 (1.東北大、2.産総研ナノエレ)
11:15 〜 11:30
〇菅野 量子1、 礒部 倫郎2、 浜口 智志2 (1.日立研開、2.阪大工)