一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇本郷 仁啓2、クンプアン ソマワン2,1、原 史朗2,1 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
いいね！
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13:15 〜 13:30
〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
スケジュール
いいね！
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13:30 〜 13:45
〇佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
スケジュール
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13:45 〜 14:00
〇谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
いいね！
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14:00 〜 14:15
〇野田 周一1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
加持 裕生1、〇羽深 等1、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院理工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
スケジュール
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14:30 〜 14:45
〇中道 修平1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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15:00 〜 15:15
〇後藤 哲也1、小林 誠二2、クオン タイクオック2、薮田 勇気3、須川 成利1、原 史朗4,5 (1.東北大未来研、2.コーテック、3.誠南工業、4.産総研、5.ミニマル)
スケジュール
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15:15 〜 15:30
〇加瀬 雅1、クンプアン ソマワン1,2、原 史郎1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
スケジュール
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15:30 〜 15:45
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2、速水 利泰2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.SPPテクノロジーズ、3.ミニマルファブ)
スケジュール
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15:45 〜 16:00
〇居村 史人1、田中 宏幸1、大澤 孝治2、髙野 拓郎2、鐘堂 健三2、寺澤 靖雄2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.ニデック、3.ミニマルファブ)
スケジュール
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16:00 〜 16:15
〇浜本 毅司1、浦 伸吾3、松田 誠宙3、北山 侑司4、丸山 智史4、クンプアン ソマワン2、柴 育成4、土屋 忠明3、原 史朗2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.ロジック・リサーチ、4.横河ソリューションサービス)
スケジュール
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16:15 〜 16:30
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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