2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム » イオン注入技術の進展 〜Si、GaAsから最先端WBG半導体まで〜

シンポジウム(口頭講演)

[10p-W922-1~8] イオン注入技術の進展 〜Si、GaAsから最先端WBG半導体まで〜

2019年3月10日(日) 13:30 〜 17:50 W922 (ディジタル多目的ホール)

今泉 昌之(三菱電機)、岡 徹(豊田合成)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

17:20 〜 17:50

谷井 孝至1、 品田 高弘2、 寺地 徳之3、 小野田 忍4、 大島 武4、 McGuinness Liam5、 Jelezko Fedor5、 Liu Yan6、 Wu E6、 加田 渉7、 花泉 修7、 川原田 洋1、 磯谷 順一8 (1.早大理工、2.東北大、3.物材機構、4.量研、5.ウルム大、6.華東師範大、7.群大、8.筑波大)

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