^○稗田克彦¹，Tom Miyazaki²，Sara Peters²，Paru Deshpande³，Liesbet Lagae³，John O’callghan³，Josine Loo³，Chengxun Liu³，Bivragh Majeed³，Karolien Jans³ (JSR¹，JSR Micro N.V.²，IMEC³)

11:00 〜 11:15

[19a-B4-8] 細菌迅速検出用マイクロチップⅤ　‐培養条件と蛍光特性‐

^○林隆平¹，中澤寛一¹，石田誠¹，澤田和明¹，石井仁¹，町田克之^2,3，石原昇²，益一哉²，王常楽⁴，飯田健一郎⁴，齋藤光正⁴，吉田眞一⁴ (豊橋技術科学大¹，東工大²，NTTアドバンステクノロジ³，九大医学研究院⁴)

11:15 〜 11:30

[19a-B4-9] コンプライアントバンプによるqVGAサイズの異種材料間常温I/O接続

^○岩鍋圭一郎，首藤高徳，浅野種正 (九大)

11:30 〜 11:45

[19a-B4-10] PZT薄膜の最適化による自己検知圧電MEMSカンチレバーの出力電圧向上

^○小林健¹，小山昌二²，牧本なつみ¹，舟窪浩³，前田龍太郎¹ (産総研¹，ヒロセ電機²，東工大³)

11:45 〜 12:00

△ [19a-B4-11] サブ波長格子を用いた透過型可変減衰器の製作

^○本間浩章，高橋一浩，石井仁，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)

12:00 〜 12:15

[19a-B4-12] MEMS Fabry-Perot型表面応力センサの光学特性評価

^○高橋一浩，小澤遼，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)

セッション一覧

13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[18p-P11-1] MOS型共振デバイスにおけるバイアス条件と共振特性の関係

[18p-P11-2] 光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動

[18p-P11-3] 集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討

△ [18p-P11-4] アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価

△ [18p-P11-5] エネルギーハーベストデバイスの検討(1)

[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）厚膜PZT/PZTバイモルフを用いたMEMSミラー試作

▲ [19a-B4-2] 単結晶ダイヤモンドナノマシン共振特性のサイズ依存性

△ [19a-B4-3] 非対称周期構造を導入したプラズモニックメタマテリアルによる多波長選択型非冷却赤外線センサ

△ [19a-B4-4] 非対称形状を導入したプラズモニックメタマテリアルによる偏光検知非冷却赤外線センサ

[19a-B4-5] ヘテロ集積化蛍光検出デバイス　－励起光源の実装－

▼ [19a-B4-6] In-plane Nano-electro-mechanical Resonators: Design, Fabrication and Measurement