一般セッション(ポスター講演)

[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB5会場)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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13:30 〜 15:30

[18p-PB5-1] 永久磁石を用いたリング状ホロー放電磁化プラズマ生成とその空間分布

^○大津康徳，柳瀬俊彰，江口純太，矢羽田祥貴 (佐大院工)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-2] 高真空平板マグネトロン放電の二つのモードでのスパッタ

^○大野貴弘，浅倉直和，河村洋史，宇佐美剛，舩木貴良，伊藤勝利，宇原祥夫，三浦勉，斉藤茂 (東理大)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-3] 対抗タ－ゲット型HPPSペニング放電によるDLC成膜

^○木村高志¹，東欣吾²，中尾節男³ (名工大工¹，兵庫県立大工²，産総研³)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-4] バリア型沿面放電プラズマによるDLC膜の膜質向上に関する研究

^○多田和也，安井晋示，浅井靖貴 (名古屋工大)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-5] PFC凝縮層へのプラズマ照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価

^○曽我遥華，山井孝太，森川恭兵，佐藤哲也，中川清和 (山梨大院医工総研)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-6] ALD法によるa-TiNx薄膜の低温合成

^○関渓太，柳炳學，佐藤哲也 (山梨大院医工総研)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-7] 同軸ガス流型低圧パルスプラズマによるZnOナノ粒子ドメインの自己形成

^○白畑太樹，飯塚哲 (東北大院工)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-8] 大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

^○竹中弘祐，内田儀一郎，節原裕一 (阪大接合研)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-9] VHF-PECVDで形成したSiN_x膜中の化学結合経時変化(Ⅲ)

^○小林信一 (東京工芸大工)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-10] 各種アルミニウム合金添加物におけるプラズマ窒化処理の影響

^○坂本風刀，武村祐一朗 (近大院)

13:30 〜 15:30

△ [18p-PB5-11] キャピラリー大気圧プラズマジェットを用いたCNTドットアレイの表面官能基修飾の最適化

^○岡田充¹，Abuzairi Tomy^2,3，張晗¹，Poespawati Nji³，永津雅章^1,2 (静大院工¹，創造科技院²，インドネシア大³)

一般セッション(口頭講演)

[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:00 S9 (S9)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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09:00 〜 09:15

[19a-S9-1] 粉体スパッタリング法による複合薄膜の作製

^○大島多美子，前田尭，田中雪，川崎仁晴，柳生義人，須田義昭 (佐世保高専)

09:15 〜 09:30

[19a-S9-2] 軸外しRFスパッタによる低抵抗Al添加ZnO膜の均一成膜

^○松田良信，横山宏信，小山田俊介，篠原正典 (長崎大院工)

09:30 〜 09:45

[19a-S9-3] バラン給電型マルチホローカソードプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発

^○鈴木貴也，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

09:45 〜 10:00

△ [19a-S9-4] プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造および電子物性における高周波電力依存性

^○杉浦啓嗣，賈凌雲，徐達，中村将之，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

10:00 〜 10:15

[19a-S9-5] DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション

^○小田昭紀¹，川口悟²，佐藤孝紀²，上坂裕之³，太田貴之⁴ (千葉工大¹，室蘭工大²，名大院工機械³，名城大理工⁴)

10:15 〜 10:30

[19a-S9-6] 水素プラズマによる金属の蒸発促進と高速成膜への応用

^○大参宏昌，垣内弘章，安武潔 (阪大院工)

休憩10:30～10:45 （10:30 〜 10:45）

10:45 〜 11:00

[19a-S9-7] プラズマ支援原子層堆積により生じるグラフェンの歪み

^○北嶋武，中野俊樹 (防大電気)

11:00 〜 11:15

△ [19a-S9-8] シリコンナノ粒子の表面化学修飾とドーピング効果

^○菅谷通宏，丁毅，周述，野崎智洋 (東工大)

11:15 〜 11:30

△ [19a-S9-9] マイクロ波液中プラズマ法によるAu/Pd合金ナノ粒子の合成

^○（M1）白井宏明¹，石田洋平¹，米澤徹¹，徳永智春² (北大院工¹，名大院工²)

11:30 〜 11:45

△ [19a-S9-10] 保護剤混合PEG中にスパッタリングで合成する蛍光性金ナノ粒子

^○鷲見太希，石田洋平，米澤徹 (北大院工)

11:45 〜 12:00

[19a-S9-11] 紫外線吸収分光法を用いた大気圧プラズマ処理水中の活性種測定

^○呉準席¹，桜本幸大¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノセンター²)

一般セッション(口頭講演)

[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2014年9月19日(金) 13:15 〜 14:30 S9 (S9)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

+全てマイスケジュールに登録

昼食12:00～13:15 （12:00 〜 13:15）

13:15 〜 13:30

[19p-S9-1] プラズマインジケータ（１）：プラズマ雰囲気下における無機酸化物の変色性とプラズマ診断

^○山川裕^1,2，宮崎裕司¹，釆山和弘¹，井上浩¹，清水雅弘²，西正之²，平尾一之² (サクラクレパス¹，京大院工²)

13:30 〜 13:45

[19p-S9-2] プラズマインジケータ（２）～プラズマインジケータを用いたプラズマ分布診断法～

^○菱川敬太^1,2，宮﨑裕司¹，釆山和弘¹，井上浩¹，酒井道² (サクラクレパス¹，京大院工²)

13:45 〜 14:00

[19p-S9-3] 窒化ガリウム薄膜をプラズマ中に曝したときの基板温度の効果

^○小川大輔，中野由崇，中村圭二 (中部大)

14:00 〜 14:15

[19p-S9-4] リモート窒素プラズマが照射されたSiC表面における窒素原子組成比：活性種の影響

^○嶋林正晴¹，栗原一彰²，佐々木浩一¹ (北大工¹，東芝研究開発センター²)

14:15 〜 14:30

[19p-S9-5] Si, Al₂O₃基板へのArプラズマの影響

^○關雅志¹，田沼千秋² (東芝テック¹，法政大²)

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[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[18p-PB5-1] 永久磁石を用いたリング状ホロー放電磁化プラズマ生成とその空間分布

[18p-PB5-2] 高真空平板マグネトロン放電の二つのモードでのスパッタ

[18p-PB5-3] 対抗タ－ゲット型HPPSペニング放電によるDLC成膜

[18p-PB5-4] バリア型沿面放電プラズマによるDLC膜の膜質向上に関する研究

[18p-PB5-5] PFC凝縮層へのプラズマ照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価

[18p-PB5-6] ALD法によるa-TiNx薄膜の低温合成

[18p-PB5-7] 同軸ガス流型低圧パルスプラズマによるZnOナノ粒子ドメインの自己形成

[18p-PB5-8] 大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

[18p-PB5-9] VHF-PECVDで形成したSiN_x膜中の化学結合経時変化(Ⅲ)

[18p-PB5-10] 各種アルミニウム合金添加物におけるプラズマ窒化処理の影響

△ [18p-PB5-11] キャピラリー大気圧プラズマジェットを用いたCNTドットアレイの表面官能基修飾の最適化

[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-1] 粉体スパッタリング法による複合薄膜の作製

[19a-S9-2] 軸外しRFスパッタによる低抵抗Al添加ZnO膜の均一成膜

[19a-S9-3] バラン給電型マルチホローカソードプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発

△ [19a-S9-4] プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造および電子物性における高周波電力依存性

[19a-S9-5] DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション

[19a-S9-6] 水素プラズマによる金属の蒸発促進と高速成膜への応用

[19a-S9-7] プラズマ支援原子層堆積により生じるグラフェンの歪み

△ [19a-S9-8] シリコンナノ粒子の表面化学修飾とドーピング効果

△ [19a-S9-9] マイクロ波液中プラズマ法によるAu/Pd合金ナノ粒子の合成

△ [19a-S9-10] 保護剤混合PEG中にスパッタリングで合成する蛍光性金ナノ粒子

[19a-S9-11] 紫外線吸収分光法を用いた大気圧プラズマ処理水中の活性種測定

[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-1] プラズマインジケータ（１）：プラズマ雰囲気下における無機酸化物の変色性とプラズマ診断

[19p-S9-2] プラズマインジケータ（２）～プラズマインジケータを用いたプラズマ分布診断法～

[19p-S9-3] 窒化ガリウム薄膜をプラズマ中に曝したときの基板温度の効果

[19p-S9-4] リモート窒素プラズマが照射されたSiC表面における窒素原子組成比：活性種の影響

[19p-S9-5] Si, Al₂O₃基板へのArプラズマの影響