一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:45 〜 14:00
〇入倉 健太1、渡部 亨1 (1.横国大院工)
スケジュール
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14:00 〜 14:15
〇山田 彩未1、羽深 等1 (1.横国大院工)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
〇(M2)武居 則久1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
スケジュール
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14:30 〜 14:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
スケジュール
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14:45 〜 15:00
松尾 美弥1、〇室井 光子1、李 寧1、羽深 等1、三ケ原 孝則2,3、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
スケジュール
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15:00 〜 15:15
〇三ケ原 孝則1,2、石田 夕起2、伊藤 孝宏3、三浦 典子1、池田 伸一2、羽深 等4、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.ﾐﾆﾏﾙﾌｧﾌﾞ推進機構、2.産総研、3.ｵﾘｴﾝﾀﾙﾓｰﾀｰ、4.横国大)
スケジュール
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15:15 〜 15:30
〇後藤 哲也1、佐藤 恵一朗2、薮田 勇気3、須川 成利1、原 史朗4,5 (1.東北大未来研、2.コーテック、3.誠南工業、4.産総研、5.ミニマルファブ技術研究組合)
スケジュール
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15:30 〜 15:45
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
スケジュール
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15:45 〜 16:00
〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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16:00 〜 16:15
〇三浦 典子1,2、相澤 洸2、居村 史人1,3、山田 武史2、野川 満徳2、大西 康弘2、石島 達夫4、鈴木 宏明4、島田 大伸4、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.米倉製作所、3.産総研、4.金沢大学)
スケジュール
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16:30 〜 16:45
〇亀濱 博紀1、藤井 知1,2、遠江 栄希3 (1.沖縄高専、2.東工大、3.横河ソリューションサービス)
スケジュール
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16:45 〜 17:00
〇クンプアン ソマワン1,2、梅山 規男1,2、田中 宏幸1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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17:00 〜 17:15
〇AnhTuan Phan1,2、Hiroyuki Tanaka1,3、Norio Umeyama1,3、Noriko Miura1,3、Khumpuang Sommawan1,3、Shiro Hara1,3 (1.Minimal Fab、2.SHTPLabs、3.AIST)
スケジュール
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17:15 〜 17:30
〇柳 永シュン1、田中 広幸1、梅山 規男1、クンプアン ソマワン1、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1 (1.産総研)
スケジュール
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17:30 〜 17:45
〇梅山 規男1,2、三浦 典子2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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17:45 〜 18:00
〇吉岡 昌男1、田中 洋輔1、入田 亮一1、吉田 真也1、梅山 規男2,3、クンプアン ソマワン2,3、原 史朗2,3 (1.ピーエムティー、2.産総研、3.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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18:00 〜 18:15
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.不二越機械工業)
スケジュール
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18:15 〜 18:30
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、猿渡 新水1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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18:30 〜 18:45
〇谷島 孝1、安井 政治1、クンプアン ソマワン1、前川 仁1、原 史朗1 (1.産総研)
スケジュール
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18:45 〜 19:00
〇石橋 晃1,5,6、松田 順治2、野口 伸守3、江藤 月生4、大橋 美久5、原 史朗6 (1.北大電子研、2.飛栄建設、3.石橋建築事務所、4.近代設備設計事務所、5.シーズテック、6.産総研)
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