〇Bachche Shivaji¹、 Nonoguchi Masahiro²、 Kato Koichi²、 Kageyama Masashi²、 Koike Takafumi²、 Kuribayashi Masaru²、 Momose Atsushi¹ (1.Tohoku Univ.、2.Rigaku Corp.)

11:30 〜 11:45

[15a-318-10] ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計

〇小池雅人¹、ピロジコフアレキサンダー¹、羽多野忠²、西原弘晃³、笹井浩行³、長野哲也³ (1.量研機構量子ビーム、2.東北大多元研、3.島津デバイス)

11:45 〜 12:00

[15a-318-11] 薄型テレビ製造プロセスを用いた高解像フラットパネルX線検出器の開発

〇藤原健¹、谷野貴広²、重田和樹²、岡村昌紀²、三好寿顕³、中村渉³、河西秀典³ (1.産総研、2.東レ、3.シャープ)

一般セッション(口頭講演)

[15a-423-1~9] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 423 (423)

横尾篤(NTT)、中川勝(東北大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

+全てマイスケジュールに登録

09:00 〜 09:15

[15a-423-1] インプリントアライメントに向けた蛍光モアレの観察

〇菊地英里¹、石戸洋太¹、松原信也²、中村貴宏¹、阿部誠之²、中川勝¹ (1.東北大、2.旭化成)

09:15 〜 09:30

[15a-423-2] ナノインプリントグラフォエピタキシー分子配向の深さ方向分析

〇岡田真¹、藤井良輔²、春山雄一¹、小野浩司³、川月喜弘² (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.長岡技科大)

09:30 〜 09:45

△ [15a-423-3] 熱ナノインプリント作製した金ナノ粒子コート超平坦フレキシブル基板

〇後藤里紗¹、嶋田航大¹、金子智²、松田晃史¹、吉本護¹ (1.東工大、2.神奈川県産技セ)

09:45 〜 10:00

[15a-423-4] 複数アリ構造の冷やしばめによる超音波ホーンとモールド間締結の改善

〇銘苅春隆¹、矢野隆行² (1.産総研、2.分子研)

10:15 〜 10:30

[15a-423-5] 遅延硬化型UV硬化樹脂を用いた不透明材料へのUVナノインプリント

〇川田博昭¹、筒井治衣¹、安田雅昭¹、平井義彦¹ (1.大府大工)

10:30 〜 10:45

[15a-423-6] 連続ＵＶナノインプリントにおける離型層の耐久性の改善検討

〇伊吉就三¹、岡田真¹、春山雄一¹、松井真二¹ (1.兵庫県立大　高度研)

10:45 〜 11:00

[15a-423-7] 確率論的モデルに基づくナノ空間中でのUV-NILレジストの硬化特性解析

〇香山真範¹、白井正充¹、川田博昭¹、平井義彦¹、安田雅昭¹ (1.大阪府大院工)

11:00 〜 11:15

[15a-423-8] ナノインプリントによるオーバーハング型マイクロピラーアレーの形成

〇柳下崇¹、佐原里香¹、益田秀樹¹ (1.首都大都市環境)

11:15 〜 11:30

[15a-423-9] ナノトレンチへの埋め込みによる可溶性導電性高分子ナノワイヤの作製と評価

〇(M2)畔柳志帆¹、宮崎孝道²、 Heo Shinae³、杉安和憲³、中川勝¹、若山裕³ (1.東北大多元研、2.東北大工学部、3.物材機構)

一般セッション(口頭講演)

[15p-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月15日(水) 13:15 〜 16:15 318 (318)

東口武史(宇都宮大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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13:15 〜 13:30

[15p-318-1] 絶縁性有機膜の簡便な軟X線励起全電子収量測定

〇村松康司¹、大内貴仁¹ (1.兵県大院工)

13:30 〜 13:45

[15p-318-2] 中性子用蒸着Gd格子の作製とX線顕微鏡による評価

〇佐本哲雄^1,2、高野秀和^1,2、百生敦^1,2 (1.JST ERATO百生PJ.、2.東北大多元研)

13:45 〜 14:00

△ [15p-318-3] マイクロフォーカスＸ線源と振幅格子を用いたＸ線位相イメージング -振幅格子の投影像の短周期化の検討-

〇(M1)細野凌¹、佐野壱成¹、川端智樹²、林田清²、工藤統吾^3,4、尾崎恭介³、初井宇記³、細井卓治¹、渡部平司¹、志村考功¹ (1.阪大院工、2.阪大院理、3.理研、4.JASRI)

14:00 〜 14:15

[15p-318-4] 耐熱鋼に添加された微量軽元素のＸ線吸収スペクトル測定

〇志岐成友¹、藤井剛¹、浮辺雅宏¹、 Fons Paul¹、阿部富士雄²、大久保雅隆¹ (1.産総研、2.物材)

14:15 〜 14:30

[15p-318-5] X線Talbot-Lau干渉計を用いた4DCTによるポリマーブレンド相分離構造その場観察

〇呉彦霖^1,2、高野秀和^1,2、村上岳³、百生敦^1,2 (1.東北大多元研、2.JST-ERATO、3.東北大院工)

14:30 〜 14:45

[15p-318-6] レーザー駆動プラズマＸ線レーザーによる絶対反射率測定

〇今園孝志¹ (1.量研機構関西)

15:00 〜 15:15

△ [15p-318-7] レーザーピーニングにおけるプラズマ閉じ込め層制御の効果

〇津山美穂¹、榎原直哉¹、山下数馬¹、國政拓人¹、部谷学²、中野人志¹ (1.近大理工、2.大産大工)

15:15 〜 15:30

[15p-318-8] 高次高調波光源を用いたMo/Si多層膜ミラーの反射率評価装置の開発

〇五十嵐裕紀^1,2、谷峻太郎²、小林正和¹、柿崎弘司¹、小林洋平² (1.ギガフォトン、2.東大物性研)

15:30 〜 15:45

▼ [15p-318-9] Imaging plate analysis of extreme ultraviolet light (EUV) from tin laser-produced plasmas

〇(P)Musgrave Christopher Stephen¹、 Murakami Takehito¹、 Ugomori Teruyuki²、 Yoshida Kensuke²、 Fujioka Shinsuke²、 Nishimura Hiroaki²、 Atarashi Hironori^3,1、 Iyoda Tomokazu¹、 Nagai Keiji¹ (1.Tokyo Inst. of Tech、2.Osaka Univ.、3.Okayama Univ.)

15:45 〜 16:00

[15p-318-10] 半導体リソグラフィ用LPP-EUV光源の開発

〇西村祐一¹、竹田有輝¹、竹中怜¹、高島悠太¹、柏崎務¹、藤巻貴久¹、福田修¹、小山内貴幸¹、宮下光太郎¹、細田裕計¹、安藤正彦¹、若菜克彦¹、薮隆之¹、植野能史¹、鈴木徹¹、堀司¹、阿部保¹、斎藤隆志¹、溝口計¹ (1.ギガフォトン)

16:00 〜 16:15

[15p-318-11] EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションによる粒子発生

〇佐々木明¹、砂原淳²、西原功修³、西川亘⁴ (1.量研機構、2.レーザー総研、3.阪大レーザー研、4.岡山大)

一般セッション(口頭講演)

[16a-424-1~7] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月16日(木) 10:00 〜 12:00 424 (424)

田川雅人(神戸大)、辻博司(京大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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10:00 〜 10:30

[16a-424-1] [7. ビーム応用　分科内招待講演] 超音速分子ビームによる表面化学反応の放射光光電子分光観察

〇吉越章隆¹ (1.原子力機構)

10:30 〜 10:45

[16a-424-2] Pt(111)表面へのO₂吸着：
状態選別O₂ビームによる解析

〇植田寛和¹、倉橋光紀¹ (1.物材機構)

10:45 〜 11:00

[16a-424-3] 超熱エネルギー酸素分子によるCu₃Pt(111)表面の酸化過程

〇津田泰孝¹、牧野隆正¹、塚田千恵²、吉越章隆²、福山哲也³、岡田美智雄¹ (1.阪大理、2.原子力機構、3.日立研開)

11:00 〜 11:15

△ [16a-424-4] フェロセンで覆われたイオン流路にC₆₀イオンを入射した際の出射粒子の質量分析

〇立川知樹¹、内田貴司¹、本橋健次² (1.東洋大学大学院学際、2.東洋大理工)

11:15 〜 11:30

△ [16a-424-5] 金属多結晶を用いたスパッタリング収率の結晶方位依存性の評価（２）

〇(M1)平井大陽¹、長崎正雅¹、吉野正人¹、山田智明¹ (1.名古屋大)

11:30 〜 11:45

[16a-424-6] ガスクラスターイオンビーム照射による表面活性化接合の検討

〇(B)池田翔太¹、佐々木智也¹、豊田紀章¹、山田公¹ (1.兵庫県立大工)

11:45 〜 12:00

[16a-424-7] ガスクラスターイオンビームを用いた原子層エッチング

〇豊田紀章¹、小川晃広¹、山田公¹ (1.兵庫県立大工)

一般セッション(口頭講演)

[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

2017年3月16日(木) 14:00 〜 16:00 424 (424)

豊田紀章(兵庫県立大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

+全てマイスケジュールに登録

14:00 〜 14:15

[16p-424-1] ClF₃中性クラスター斜め2方向照射によるレバー構造の作成

〇瀬木利夫¹、荘所正²、小池国彦²、山本洋揮³、古澤孝弘³、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大院工、2.岩谷産業、3.阪大産研)

14:15 〜 14:30

▲ [16p-424-2] Fabrication of Tunnel Barriers in Suspended Multiwall Carbon Nanotube Using Focused Ion Beam Technique

〇(D)Ghazali Norizzawati Mohd^1,2、 Tomizawa Hiroshi^1,3、 Hagiwara Noriyuki^1,4、 Suzuki Katsuya^1,4、 Hashim Abdul Manaf^1,2、 Yamaguchi Tomohiro¹、 Akita Seiji⁵、 Ishibashi Koji^1,6 (1.RIKEN、2.Malaysia-Japan Int.l Inst. of Tech., UTM、3.Tokyo Univ. of Sci、4.Chiba Univ.、5.Osaka Pref. Univ.、6.RIKEN CEMS)

14:30 〜 14:45

[16p-424-3] 竹炭を用いたイオン液体イオン源の長時間動作特性

〇東浦佑真¹、西和哉¹、竹内光明¹、龍頭啓充¹ (1.京大　光・電子理工学教育研究センター)

14:45 〜 15:00

[16p-424-4] タングステン針に成膜した窒化チタンのアトムプローブ分析における高質量イオンの観測

〇西村知紗¹、羽路祐紀¹、辻博司¹、後藤康仁¹ (1.京大院工)

15:00 〜 15:15

[16p-424-5] 直流電界蒸発によるタングステン針を用いたグルタミン酸のアトムプローブ分析

羽路祐紀¹、入場紀明¹、〇辻博司¹、後藤康仁¹ (1.京大院工)

15:15 〜 15:30

[16p-424-6] 帯電液滴およびガスクラスター衝撃による二次イオン測定

〇二宮啓¹、十河真生²、坂井大輔²、渡邉勝己²、チェンリーチュイン¹、平岡賢三³ (1.山梨大院総合、2.アルバック・ファイ、3.山梨大クリーン)

15:30 〜 15:45

[16p-424-7] タンデム型SIMS装置を用いた検出限界の改善

〇鈴木敢士¹、瀬木利夫¹、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大院工)

15:45 〜 16:00

[16p-424-8] パイプ型ノズルを用いた大気圧SIMS測定

〇(M1)石井健太¹、瀬木利夫¹、青木学聡¹、松尾二郎¹ (1.京大院工)

セッション一覧

CS コードシェアセッション » CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [14p-424-5] 低加速電子線偏向を用いた高感度局在電界可視化

△ [14p-424-6] 単一カーボンナノチューブ電子源を用いた小型X線顕微鏡の開発と性能評価

[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [14p-423-2] p-クロロ-α-メチルスチレンを有したポジ型電子線レジストの露光特性の組成比依存性

△ [14p-423-5] 分子軌道計算によるレジスト評価手法の検討

△ [14p-423-10] EUV反射率計用のMo/Siワイドバンド多層膜偏光子の開発

△ [14p-423-14] 塗布型ZnOを用いた非真空プロセスによる三次元周期構造体の作製

[15a-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

▲ [15a-318-9] X-ray phase scanner using Talbot-Lau interferometry for non-destructive testing – IV

[15a-423-1~9] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [15a-423-3] 熱ナノインプリント作製した金ナノ粒子コート超平坦フレキシブル基板

[15p-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [15p-318-3] マイクロフォーカスＸ線源と振幅格子を用いたＸ線位相イメージング -振幅格子の投影像の短周期化の検討-

△ [15p-318-7] レーザーピーニングにおけるプラズマ閉じ込め層制御の効果

▼ [15p-318-9] Imaging plate analysis of extreme ultraviolet light (EUV) from tin laser-produced plasmas

[16a-424-1~7] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [16a-424-4] フェロセンで覆われたイオン流路にC60イオンを入射した際の出射粒子の質量分析

△ [16a-424-5] 金属多結晶を用いたスパッタリング収率の結晶方位依存性の評価（２）

[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

▲ [16p-424-2] Fabrication of Tunnel Barriers in Suspended Multiwall Carbon Nanotube Using Focused Ion Beam Technique

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△ [16a-424-4] フェロセンで覆われたイオン流路にC₆₀イオンを入射した際の出射粒子の質量分析