一般セッション(口頭講演)
[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2022年9月22日(木) 13:00 〜 17:00 A406 (A406)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇布村 正太1、 坂田 功1、 古閑 一憲2、 白谷 正治2 (1.産総研、2.九大)
13:15 〜 13:30
〇郷矢 崇浩1、 占部 継一郎1、 江利口 浩二1 (1.京大院工)
13:30 〜 13:45
〇平田 瑛子1、 深沢 正永1、 J. U. Tercero2、 釘宮 克尚1、 萩本 賢哉1、 唐橋 一浩2、 浜口 智志2、 岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)、2.阪大院工)
13:45 〜 14:00
〇篠田 和典1、 三浦 勝哉1、 前田 賢治2、 伊澤 勝2、 NGUYEN Thi-Thuy-Nga3、 石川 健治3、 堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)
14:00 〜 14:15
〇窪田 康生1、 高橋 和生1 (1.京工繊大)
14:15 〜 14:30
〇(M2)加藤 響1、 花房 宏明1、 佐藤 拓磨1、 東 清一郎1 (1.広島大先進理工)
14:30 〜 14:45
〇関 悠斗1、 加藤 閣人1、 久保井 宗一1、 鈴木 陽香1,2、 豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
14:45 〜 15:00
〇市川 景太1、 鈴木 陽香1、 飯野 大輝2、 福水 裕之2、 栗原 一彰2、 豊田 浩孝1,3 (1.名古屋大工、2.キオクシア、3.核融合研)
15:15 〜 15:30
〇竹中 弘祐1、 林 祐仁1、 都甲 将1、 江部 明憲2、 節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)
15:30 〜 15:45
〇大堀 大介1、 Chen Yi-Ho2、 尾崎 卓哉1、 遠藤 和彦3、 Li Yiming2、 寒川 誠二2,1,4 (1.東北大流体研、2.NYCU、3.産総研、4.東北大AIMR)
15:45 〜 16:00
〇竹谷 透1、 岡田 健1 (1.東北大院工)
16:00 〜 16:15
〇山本 晃大1、 長尾 伊織1、 山本 祐馬1、 大高 真寛1、 山下 大輔1、 鎌滝 晋礼1、 奥村 賢直1、 山下 尚人1、 板垣 奈穂1、 古閑 一憲1,2、 白谷 正治1 (1.九大シス情、2.自然科学研究機構)
16:15 〜 16:30
〇(M1C)西村 美優紀1、 太田 貴之1 (1.名城大理工)
16:30 〜 16:45
〇木賀 海青1、 山田 輝也1、 花井 稜1、 益本 幸泰1、 内田 儀一郎1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)
16:45 〜 17:00
〇川崎 仁晴1、 大島 多美子1、 柳生 義人1、 猪原 武士1、 日比野 祐介1、 佐竹 卓彦1,2、 青木 振一2 (1.佐世保高専、2.崇城大)