2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッション一覧

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

一般セッション(口頭講演)

[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:00 C309 (C309)

占部 継一郎(京大)、堤 隆嘉(名大)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

09:00 〜 09:15

野沢 善幸1、 リャオ ブライアン1、 藤井 竜介1、 速水 利泰1、 大堀 大介2、 野田 周一3、 門井 幹夫4、 石田 昌久5、 田中 麻美5、 曽田 匡洋5、 遠藤 和彦3、 寒川 誠二2 (1.SPPテクノロジーズ、2.東北大流体研、3.産総研、4.リソテックジャパン、5.長瀬産業)

09:15 〜 09:30

門井 幹夫1、 石田 昌久2、 田中 麻美2、 曽田 匡洋2、 大堀 大介3、 野田 周一4、 野沢 善幸5、 リャオ ブライアン5、 藤井 竜介5、 速水 利泰5、 遠藤 和彦4、 寒川 誠二3 (1.リソテックジャパン、2.長瀬産業、3.東北大流体研、4.産総研、5.SPPテクノロジーズ)

10:00 〜 10:30

平田 瑛子1、 深沢 正永1、 長畑 和典2、 李 虎3、 唐橋 一浩4、 浜口 智志4、 辰巳 哲也1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ、2.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、3.東京エレクトロン、4.大阪大学)

一般セッション(口頭講演)

[18p-C309-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年9月18日(水) 13:45 〜 17:15 C309 (C309)

荻野 明久(静大)、布村 正太(産総研)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

一般セッション(ポスター講演)

[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年9月20日(金) 09:30 〜 11:30 PA4 (第一体育館)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

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