一般セッション(口頭講演)
[14a-A305-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、 秋田 一平1、 松川 貴1、 田中 宏幸1,2、 古賀 和博2、 根本 一正1、 クンプアン ソマワン1,2、 長尾 昌善1、 森田 行則1、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:15 〜 09:30
大谷 真奈1、 〇羽深 等1、 池田 伸一2,3、 石田 夕起2,3、 原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
09:30 〜 09:45
〇居村 史人1,2、 井上 道弘1、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:45 〜 10:00
〇佐藤 和重1,4、 高橋 俊次3、 田 昭治3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.片桐エンジニアリング、4.坂口電熱)
10:00 〜 10:15
〇田中 宏幸1,2、 小木曽 久人1,2、 中野 禅1,2、 野沢 善幸2,3、 速水 利泰2,3、 Khumpuang Sommawan1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
10:15 〜 10:30
〇古賀 和博1、 加瀬 雅2、 佐藤 和重1、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
10:45 〜 11:00
〇根本 一正1、 谷島 孝1、 田中 宏幸1、 野田 周一1、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
11:00 〜 11:15
〇藤井 知1、 遠江 栄希2、 柴 育成2、 Dario Manelli3、 徳田 基3、 大江 隆3、 小坂 光二3、 原 史朗4 (1.沖縄高専、2.横河SS、3.TCK、4.産総研)
11:15 〜 11:30
〇野田 周一1、 古賀 和博2、 居村 史人1、 根本 一正1、 薮田 勇気3、 山本 直子3、 亀井 龍一郎3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業(株))
11:30 〜 11:45
〇三浦 典子1、 橋本 直樹1,2、 北村 是尊1,2、 居村 史人1,3、 佐藤 和重1、 古賀 和博1、 石田 夕起1,3、 大平 俊行1,3、 クンプアン ソマワン1,3、 原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研)
11:45 〜 12:00
〇谷島 孝1,2、 クンプアン ソマワン1,2、 前川 仁1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)