一般セッション(口頭講演)
[9a-M114-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年3月9日(土) 09:00 〜 12:00 M114 (H114)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇田中 宏幸1,2、 小木曽 久人1,2、 中野 禅1,2、 野沢 善幸2,3、 速水 利泰2,3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
09:15 〜 09:30
〇佐藤 和重1,3、 千葉 貴史1,3、 寺田 昌男1,3、 池田 伸一1,2、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
09:30 〜 09:45
〇野田 周一1、 古賀 和博2、 根本 一正1、 薮田 勇気3、 山本 直子3、 亀井 龍一郎3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業(株))
09:45 〜 10:00
〇三浦 典子1、 古賀 和博1、 田中 宏幸1,2、 野沢 善幸3、 速水 利泰3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.SPPテクノロジーズ)
10:00 〜 10:15
〇加瀬 雅1、 佐藤 和重2,3、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.坂口電熱株式会社)
10:15 〜 10:30
〇居村 史人1,2、 井上 道弘1、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
10:30 〜 10:45
〇柳 永シュン1、 佐藤 和重2、 田中 宏幸1,2、 古賀 和博2、 クンプアン ソマワン1,2、 長尾 昌善1、 松川 貴1、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
10:45 〜 11:00
〇古賀 和博1、 柳 永シュン2、 居村 史人2,1、 加瀬 雅2、 野田 周一2、 根本 一正2、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
11:00 〜 11:15
〇根本 一正1、 田中 宏幸1、 野田 周一1、 三浦 典子2、 クンプアン ソマワン1,2、 原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
11:15 〜 11:30
高橋 俊範1、 室井 光子1、 〇羽深 等1、 池田 伸一2,3、 石田 夕起2,3、 原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推機、3.産総研)
11:30 〜 11:45
〇影山 智明1,3、 根本 一正2、 クンプワン ソマワン2,3、 原 史朗2,3、 李 相錫1 (1.鳥取大学、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
11:45 〜 12:00
〇谷島 孝1,2、 三浦 典子1、 安井 政治1,2、 クンプアン ソマワン1,2、 前川 仁1,2、 原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研)